真空泵配件
EBARA 油位开关行业应用与出口
EBARA 油位开关行业应用与出口

EBARA 油位开关 LS-120/160 分行业应用与出口方案

 

行业价值:从单一报警到全场景守护

EBARA 油位开关 LS-120/160 看起来只是一个小型配件,但它在半导体晶圆腔、化工腐蚀气抽排、光伏连续产线里都是一道干磨防线。把不同行业工况梳理清楚,按泵型按温度选规格,能让它在每个场景都稳定工作。

分行业应用

· 半导体与电子制造

适配 EBARA A 系列、AAS 系列干式真空泵,用于晶圆镀膜、刻蚀、离子注入等工艺中的真空腔体润滑监测,保障高洁净度生产环境,避免油雾污染晶圆。

· 化工与制药

应用于 ESR、EST 系列真空泵,在腐蚀性气体抽排、溶剂回收及尾气处理工况中,耐受高温与化学介质,防止泵体因缺油引发安全事故。

· 光伏与新能源

配套 A70W、A150W 等大功率干泵,在硅片拉晶、电池片制造等连续生产环节中,提供毫秒级低油位保护,减少非计划停机时间。

· 工业液环真空系统

专为 40X20、50X20、65X40、80X25、150X40 等 X 系列液环泵设计,在造纸、脱水、真空蒸馏等重工业场景中,抵御恶劣工况,延长设备大修周期。

· 科研与实验室

适配中小型真空泵(如 ESA25或者A07V),为实验室精密仪器提供高透明度油位视窗与的电子报警双重保障。

适配泵型速览

泵系列

代表机型

推荐开关

备注

X 系列液环泵

40X20 / 50X20 / 80X25

LS-120

直接替换

X 系列液环泵(大功率)

65X40 / 150X40

LS-160

大功率耐高温优先

ESA 系列干泵

ESA25 / ESA70W / ESA100

LS-120 / LS-160

全型号适配

AA 系列干泵

AA10S / AA40W / AA70W

LS-120 / LS-160

全型号适配

ESR 系列干泵

ESR20 / ESR80 / ESR100

LS-120 / LS-160

全型号适配

EST 系列干泵

EST100

LS-160

大功率耐高温优先

A 系列干泵

A07V / A10S / A25S / A30W / A70W / A150W

LS-120 / LS-160

全型号适配

EV-S 系列干泵

全型号

LS-120W / LS-160W

紧凑侧装

EV-M 系列干泵

EV-M20N / EV-M102N

LS-120W / LS-160W

透明视窗+刻度

NASH 液环泵

2BV / 2BE / 2BC 系列

LS-120W(侧装)

气液分离器配套

面向出口买家的优势

· 工厂直供:非贸易商转手,价格与交期可控。

· 替代 OEM 料号 290007:法兰、电气接口、信号逻辑与原厂一致,免改线。

· PFPE 油兼容:适配 EBARA 全系润滑油,含全氟聚醚油与矿物真空泵油。

· /低温双规格:120°C 与 160°C 两档覆盖,从常规到大功率工况均可对应。

性能参数表

参数项

LS-120 / LS-120W 规格

LS-160 / LS-160W 规格

原厂零件号

290007

290007

外壳材质

透明聚碳酸酯(PC)

透明微黄色耐高温 U-聚合物

工作温度范围

0°C ~ 120°C

0°C ~ 160°C

存储温度范围

-20°C ~ 120°C

-20°C ~ 160°C

开关类型

干簧管 A 接点(低油位断开)

干簧管 A 接点(低油位断开)

触点容量

Max. 2A/250VAC

Max. 2A/250VAC

金属部件材质

SUS304 不锈钢

SUS304 不锈钢

密封件材质

氟橡胶(FKM)O 型圈

氟橡胶(FKM)O 型圈

防护等级

IP65

IP65

外形尺寸

44mm × 44mm × 11mm

44mm × 44mm × 11mm

电气接口

2 芯 / 3 芯标准端子

2 芯 / 3 芯标准端子

响应速度

毫秒级

毫秒级

设计使用寿命

≥50,000 次动作

≥50,000 次动作

适配油液

全氟聚醚油(PFPE)/ 矿物真空泵油

全氟聚醚油(PFPE)/ 矿物真空泵油

安装方式

法兰式垂直安装,扭矩 8-10 N·m

法兰式垂直安装,扭矩 8-10 N·m

常见问答

问:不同行业选 120 还是 160? 答:120°C 以下常规选 LS-120;高温/大功率(如光伏 A150W、液环 65X40/150X40、EST100)选 LS-160。

问:是原厂件还是替代件? 答:工厂直供替换件,替代原厂 290007,兼容 EBARA 全系列。

总结

EBARA 油位开关从半导体、化工、光伏到液环真空、实验室均有规模化应用,120°C 与 160°C 双规格覆盖全工况,工厂直供支持出口,是 EBARA 真空泵全生命周期运维的标配配件。欢迎按行业工况咨询选型与报价。