EBARA 油位开关 LS-120/160 分行业应用与出口方案
行业价值:从单一报警到全场景守护
EBARA 油位开关 LS-120/160 看起来只是一个小型配件,但它在半导体晶圆腔、化工腐蚀气抽排、光伏连续产线里都是一道干磨防线。把不同行业工况梳理清楚,按泵型按温度选规格,能让它在每个场景都稳定工作。
分行业应用
· 半导体与电子制造
适配 EBARA A 系列、AAS 系列干式真空泵,用于晶圆镀膜、刻蚀、离子注入等工艺中的真空腔体润滑监测,保障高洁净度生产环境,避免油雾污染晶圆。
· 化工与制药
应用于 ESR、EST 系列真空泵,在腐蚀性气体抽排、溶剂回收及尾气处理工况中,耐受高温与化学介质,防止泵体因缺油引发安全事故。
· 光伏与新能源
配套 A70W、A150W 等大功率干泵,在硅片拉晶、电池片制造等连续生产环节中,提供毫秒级低油位保护,减少非计划停机时间。
· 工业液环真空系统
专为 40X20、50X20、65X40、80X25、150X40 等 X 系列液环泵设计,在造纸、脱水、真空蒸馏等重工业场景中,抵御恶劣工况,延长设备大修周期。
· 科研与实验室
适配中小型真空泵(如 ESA25或者A07V),为实验室精密仪器提供高透明度油位视窗与的电子报警双重保障。
适配泵型速览
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泵系列 |
代表机型 |
推荐开关 |
备注 |
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X 系列液环泵 |
40X20 / 50X20 / 80X25 |
LS-120 |
直接替换 |
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X 系列液环泵(大功率) |
65X40 / 150X40 |
LS-160 |
大功率耐高温优先 |
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ESA 系列干泵 |
ESA25 / ESA70W / ESA100 |
LS-120 / LS-160 |
全型号适配 |
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AA 系列干泵 |
AA10S / AA40W / AA70W |
LS-120 / LS-160 |
全型号适配 |
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ESR 系列干泵 |
ESR20 / ESR80 / ESR100 |
LS-120 / LS-160 |
全型号适配 |
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EST 系列干泵 |
EST100 |
LS-160 |
大功率耐高温优先 |
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A 系列干泵 |
A07V / A10S / A25S / A30W / A70W / A150W |
LS-120 / LS-160 |
全型号适配 |
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EV-S 系列干泵 |
全型号 |
LS-120W / LS-160W |
紧凑侧装 |
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EV-M 系列干泵 |
EV-M20N / EV-M102N |
LS-120W / LS-160W |
透明视窗+刻度 |
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NASH 液环泵 |
2BV / 2BE / 2BC 系列 |
LS-120W(侧装) |
气液分离器配套 |
面向出口买家的优势
· 工厂直供:非贸易商转手,价格与交期可控。
· 替代 OEM 料号 290007:法兰、电气接口、信号逻辑与原厂一致,免改线。
· PFPE 油兼容:适配 EBARA 全系润滑油,含全氟聚醚油与矿物真空泵油。
· 高/低温双规格:120°C 与 160°C 两档覆盖,从常规到大功率工况均可对应。
性能参数表
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参数项 |
LS-120 / LS-120W 规格 |
LS-160 / LS-160W 规格 |
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原厂零件号 |
290007 |
290007 |
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外壳材质 |
透明聚碳酸酯(PC) |
透明微黄色耐高温 U-聚合物 |
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工作温度范围 |
0°C ~ 120°C |
0°C ~ 160°C |
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存储温度范围 |
-20°C ~ 120°C |
-20°C ~ 160°C |
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开关类型 |
干簧管 A 接点(低油位断开) |
干簧管 A 接点(低油位断开) |
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触点容量 |
Max. 2A/250VAC |
Max. 2A/250VAC |
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金属部件材质 |
SUS304 不锈钢 |
SUS304 不锈钢 |
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密封件材质 |
氟橡胶(FKM)O 型圈 |
氟橡胶(FKM)O 型圈 |
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防护等级 |
IP65 |
IP65 |
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外形尺寸 |
44mm × 44mm × 11mm |
44mm × 44mm × 11mm |
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电气接口 |
2 芯 / 3 芯标准端子 |
2 芯 / 3 芯标准端子 |
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响应速度 |
毫秒级 |
毫秒级 |
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设计使用寿命 |
≥50,000 次动作 |
≥50,000 次动作 |
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适配油液 |
全氟聚醚油(PFPE)/ 矿物真空泵油 |
全氟聚醚油(PFPE)/ 矿物真空泵油 |
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安装方式 |
法兰式垂直安装,扭矩 8-10 N·m |
法兰式垂直安装,扭矩 8-10 N·m |
常见问答
问:不同行业选 120 还是 160? 答:120°C 以下常规选 LS-120;高温/大功率(如光伏 A150W、液环 65X40/150X40、EST100)选 LS-160。
问:是原厂件还是替代件? 答:工厂直供替换件,替代原厂 290007,兼容 EBARA 全系列。
总结
EBARA 油位开关从半导体、化工、光伏到液环真空、实验室均有规模化应用,120°C 与 160°C 双规格覆盖全工况,工厂直供支持出口,是 EBARA 真空泵全生命周期运维的标配配件。欢迎按行业工况咨询选型与报价。








