卡西亚玛（KASHIYAMA）SDE1220-011 干式螺杆真空泵
核心规格参数
· 几何抽速：20,000 L/min
· ji限压力：0.5 Pa
· 电源电压：3相 AC200～220V 或 380～480V
· 耗水量：4-8 L/min
· 重量：340 kg
· 外形尺寸 (宽×高×长)：400 mm × 780 mm × 930 mm
主要应用与特点
· 适用场景：非常适合大尺寸晶圆和 FPD 基板使用，能够经得起各种严苛工艺的考验。
· 工艺应用：广泛应用于半导体刻蚀工艺、低压化学气相沉积（多晶硅制备）等。
· 无油清洁：作为干式真空泵，它可用作一般无油清洁真空系统的前级泵，防止油污染，并能将工艺中产生的微粒排出泵外。
· 防腐与冷却：针对可能产生腐蚀性气体或热敏性物质的工艺，泵体采用了防腐材质或涂层，并具备的冷却系统以维持合适的温度。
关于采购与维修
· 价格：该设备属于大型工业设备，不同渠道的报价差异较大。部分平台参考报价为 100,000.00 元/台，但多数情况为面议，具体价格会因购买数量、规格及线下协议等因素变化。
· 售后维修：国内（如福建厦门等地）有提供该型号真空泵维修、保养的厂家，通常提供本地化维修服务、技术咨询以及一定期限的延保服务。
