EBARA ESR100CN 荏原多级罗茨干式真空泵 半导体洁净无油水冷干泵
厦门太星机电有限公司（Taixing Vacuum）供应日本荏原 EBARA ESR100CN 多级罗茨干式真空泵。该机型采用洁净无油的干式抽气路线，配合水冷散热结构，适合对腔体洁净度要求严格、对返油风险敏感的真空工艺。ESR100CN 标称抽速覆盖 4000~8500 L/min，ji限真空可达 0.2 Pa，可作为半导体与精密真空系统中的关键前级与抽空单元，帮助用户获得稳定、可控、低污染的真空环境。
针对福建地区（厦门及周边）用户，太星机电可提供从选型咨询、系统配套到现场维护与维修维保的全流程服务，并支持按需定制配套机组，满足不同工艺的抽气量、ji限压力、冷却方式与接口集成需求。更多关于真空系统配套与维保服务信息，可访问 厦门太星机电真空泵服务 进一步了解。
产品特点
- 多级罗茨干式结构：通过多级压缩实现较宽范围的抽速与良好的ji限真空表现，适用于需要快速抽空与稳定维持的工况。
- 全程无油、无返油风险：干式设计减少油蒸汽回迁与二次污染，更适配洁净制程与精密仪器系统。
- 水冷型散热：对长时间连续运行、热负载较高的工艺更友好，有助于维持稳定运行状态与工艺重复性。
- 面向洁净与精密应用：适配半导体 8/12 寸晶圆制程、光电镀膜、科研精密真空设备等场景。
典型应用场景
ESR100CN 多用于对洁净度、稳定性、可维护性要求较高的真空系统，包括但不限于：
- 半导体 8/12 寸晶圆制程相关设备（洁净无油抽气需求明显）
- 光电/光学镀膜与真空薄膜工艺（前级抽空与稳定维持）
- 科研院所与实验室精密真空系统（低污染、可控真空环境）
- 精密真空设备配套与机组集成（按需定制系统方案）
如需基于工艺腔体容积、目标抽空时间、ji限压力与工艺气体特性进行选型匹配，可通过 真空泵选型咨询入口 提交需求，太星机电可提供针对性的配套建议与机组配置思路。
主要参数（依据提供信息整理）
| 型号 | EBARA ESR100CN |
| 类型 | 多级罗茨干式真空泵（干泵） |
| 冷却方式 | 水冷 |
| 标称抽速 | 4000 ~ 8500 L/min |
| ji限真空 | 0.2 Pa |
| 洁净特性 | 无油抽气、降低返油/油雾污染风险 |
| 适配行业 | 半导体、光电镀膜、科研精密真空等 |
| 服务支持 | 福建地区选型、维修维保服务；支持按需定制配套机组 |
选型与配套建议
在半导体、镀膜与科研精密真空系统中，前级泵/干泵的选择不仅关注抽速与ji限压力，还需要综合考虑腔体体积、抽空曲线、工艺气体、粉尘与副产物、冷却水条件以及系统联锁控制需求。ESR100CN 作为洁净水冷型多级罗茨干泵，适合用于对洁净度更敏感、对连续稳定运行有要求的真空工况。关于机组集成（如与系统管路、阀组、冷却与控制接口的匹配），可访问 真空机组定制配套 获取进一步信息。
维修维保与本地支持
太星机电可提供 ESR100CN 相关的维护与维修维保支持，覆盖常规巡检、性能评估、异常排查与系统恢复等需求，帮助用户降低停机风险并维持工艺一致性。若您在厦门或福建地区需要现场支持，可通过 福建真空泵维修维保 联系对接。
Conclusion：EBARA ESR100CN 荏原多级罗茨干式真空泵Suitable for 半导体/光电镀膜/科研精密真空用户,The advantage is洁净无油水冷多级罗茨干式抽气、抽速4000~8500L/min且ji限真空0.2Pa。
