干式真空泵
荏原 EBARA EV-S200 二手无油干式真空泵
荏原 EBARA EV-S200 二手无油干式真空泵

I. 工业级无油螺杆干泵结构总览

EV-S200 属于荏原 EV 系列工业级无油干式真空泵,核心结构由以下部分组成:

部件 材质/工艺 功能 二手评估要点
螺杆/转子组件 精密加工转子,耐介质表面处理 容积式压缩抽气 检查型面磨损、间隙
泵腔流道 耐介质设计 容纳转子、气路 检查内壁腐蚀、积垢
同步齿轮 合金钢齿轮,油/脂润滑 同步转子 检查异响、润滑状态
驱动电机 三相电机,电机电流 10.1 A 主驱动 测绝缘、电流、温升
密封件 氟橡胶 O 圈 / 轴封 防泄漏 检查渗漏、老化
电气系统 3Ph-4WIRES 200-220VAC 回路,保护器 30 A 保护与启停 通电测试功能
整机机身 工业整机,170 kg 承载与布置 检查锈蚀、变形

II. 关键材质工艺解析

2.1 无油螺杆/转子结构

荏原 EV 系列采用工业级无油压缩设计,这是该类干泵的核心工艺:

  1. 容积式压缩:转子啮合将气体逐级输送压缩,在 0.5 Pa 限压力下维持 20000 L/min 抽速能力
  2. 无接触运转:转子之间、转子与腔壁之间保持微小间隙,无摩擦磨损
  3. 无油洁净:泵腔内无油液,抽气侧与传动侧完全隔离,无返油污染
  4. 耐介质能力:EV 系列针对工艺气体进行流道与密封设计,适应化工与半导体制程
  5. 高水蒸气处理能力:可抽除水汽与凝结性气体,不乳化、不污染

2.2 耐介质流道设计

  • 泵腔流道采用耐介质配置,适应半导体、化工、制药等含工艺介质气体的场合
  • 无油干式运行,避免油雾返流污染工艺腔与产品
  • 可抽除水汽、凝结性气体及一般工艺介质
  • 强腐蚀工况(高浓度 Cl₂、HF 等)请提供气体成分,由我司评估适用性

2.3 电气与保护体系

EV-S200 的电气配置完整,是本机一大亮点,验机时可逐项核对:

电气参数 数值 说明
电源 3Ph-4WIRES 200-220VAC 60/50Hz 三相四线制,50/60Hz 电网通用
额定电流 19.2 A 满载电流
电机电流 10.1 A 电机侧峰值电流参考
回路保护器 30 A 现场配电保护选型依据
短路电流定格 1.0 kA 短路保护整定
电气图号 SB-20912 随机电气图,便于接电与排查

2.4 轻量化整机布置

  • 重量仅 170 kg:无需重型吊装,叉车或液压车即可搬运布置
  • 适合实验室、中试线、楼层内安装等对承重与空间敏感的场合
  • 日本荏原原厂制造,产地日本

III. 本台二手泵状态评估

3.1 基本信息与状态

项目 内容
型号 EV-S200
设备编号 DKG01015
设备类型 工业级无油螺杆干泵(DRY PUMP)
产地 日本
设备状态 保养好,马上装机使用
库存 1 台
价格 价格面议

3.2 保养/翻新评估要点

评估项 本机状态 建议
外观 保养好,无明显锈蚀 到货后常规清洁
转子组件 保养状态良好 试机听音确认无异响
同步齿轮 润滑正常 建议投产前检查润滑
驱动电机 功能正常 测绝缘电阻 ≥1 MΩ
密封件 状态良好 按工况制定预防性更换
电气系统 三相四线配置完整(保护器 30 A / 短路定格 1.0 kA) 通电逐项测试,对照电气图号 SB-20912
接口 进出口接口完好 核对接口规格与管路匹配

3.3 为什么保养良好的二手 EV-S200 仍有高价值

  1. 无油干泵为无接触运转设计,正常保养下转子寿命长
  2. 保养状态良好,无需额外翻新投入即可装机
  3. 荏原 EV 系列配件与维修体系成熟,后期使用有保障
  4. 相比新泵订货交期,现货即用,产线停机损失更小
  5. 170 kg 轻量整机,布置灵活,进场成本低

IV. 日常保养建议(接手后)

周期 项目 内容
每日 外观巡检 异响、渗漏、异温
每月 电机电流记录 对照基线(额定 19.2 A / 电机电流 10.1 A),异常上升即排查
季度 散热风路清洁 保持散热通畅
半年 齿轮润滑检查 补油/换油按手册要求
按年 限真空复测 对照 0.5 Pa 基线
按工况 密封件/耗材 按工艺气体腐蚀性提前更换

V. FAQ

Q1:这台二手泵翻新过吗?

A:设备状态为"保养好,马上装机使用",属原机保养良好状态,非大拆大修翻新机。设备编号 DKG01015 可追溯。

Q2:转子会磨损吗?

A:无油转子无接触运转,正常工况下磨损小;抽含颗粒粉尘气体时磨损加快,建议加装入口过滤。

Q3:齿轮润滑多久检查一次?

A:建议接手投产前检查一次,之后按手册周期定期补油或换油。

Q4:泵腔是什么材质,耐腐蚀吗?

A:EV 系列采用耐介质流道与密封设计。一般工艺气体、水汽可用;强腐蚀工艺(如高浓度 Cl₂、HF)请先告知气体成分,评估适用性。

Q5:二手泵的密封件需要更换吗?

A:本机密封状态良好,可直接装机;建议按运行小时数与工艺气体情况制定预防性更换计划。

Q6:现场配电需要什么规格?

A:电源 3Ph-4WIRES 200-220VAC 60/50Hz,额定电流 19.2 A;回路保护器按 30 A 配置,短路电流定格 1.0 kA。随机电气图号 SB-20912,接电前请对照图纸,细节可来电咨询。

Q7:价格怎么谈?

A:价格面议。致电黄先生 15880223078 或邮件 mike@xiamenbest.com,按验机方式、付款方式与物流条款报价。

联系

  • 黄先生 15880223078
  • mike@xiamenbest.com
  • 服务热线 0592-6800154
  • www.xmvacuum.com
  • 厦门市集美区东安前占里19号