PFEIFFER DUO 65 双级油封旋片式真空泵
一、产品定位与系列说明
DUO 65 属于普发 DuoLine 双级直联油封旋片泵，标准抽速 65 m³/h（50Hz），60Hz 可达 70 m³/h，是工业、实验室、镀膜、半导体主流前级泵（机械预抽泵），兼顾粗真空、中真空独立使用，分为 4 大版本：
- DUO 65（标准版）：普通工况，轴封结构，标配 P3 矿物真空油
- DUO 65/M（磁耦合标准款）：无轴封，整体泄漏低，杜绝轴封漏油，洁净工艺优选
- DUO 65 C（防腐普通版）：适配轻微腐蚀气体，内部耐蚀材质
- DUO 65 MC（磁耦合防腐款）：强腐蚀工况，使用 PFPE 全氟聚醚油，半导体 / 蚀刻 / CVD 标配
二、核心标准技术参数（50Hz / 60Hz）
1. 真空性能
表格
| 参数项 | 50Hz（国内 380V） | 60Hz |
|---|---|---|
| 标称抽速 | 65 m³/h | 70 m³/h |
| 无气镇限真空 | ≤2×10⁻³ hPa(mbar) | ≤2×10⁻³ hPa |
| 开启气镇限真空 | ≤3×10⁻³ hPa | ≤3×10⁻³ hPa |
| 水蒸气容量 | ≈1000 g/h | ≈1120 g/h |
| 耐受水汽分压 | 20 mbar | 20 mbar |
| 排气背压 | 1500 hPa（可短期承压） | 1500 hPa |
2. 机械电气
- 电机：三相异步电机，50Hz 功率 1.5kW，60Hz 1.8kW
- 转速：50Hz 1500 rpm / 60Hz 1800 rpm
- 供电：国内标准 230/400V 三相 ±5%
- 电机保护：3TF PTC 温度传感器，过热自动停机
- 防护等级：IP55
- 冷却：风冷强制散热
- 噪音：≤61~64 dB (A)（空载）
- 油腔容积：4.2 L；标准用油：P3 真空油；防腐款 PFPE 油
- 接口：进气 / 排气均为 DN40 ISO-KF
- 外形尺寸：741×240×340 mm（长 × 宽 × 高）
- 整机重量：75 kg
- 内置配置：一体式气镇阀、高压安全溢流阀，安全阀泄漏率≤1×10⁻⁵ Pa・m³/s
三、核心结构优势
- 双级压缩结构 高低两级串联压缩，相比单级泵限真空提升一个数量级，适合搭配分子泵、罗茨泵机组做前级。
- 集成气镇（Gas Ballast） 抽取含水汽、溶剂气体时打开气镇，避免水汽在泵油内凝结乳化，延长换油周期。
- 磁耦合版本（M/MC）核心优势 取消传动轴油封，无轴封渗漏风险，整机泄漏率＜1×10⁻⁷ Pa・m³/s；无润滑油外泄污染腔体，适配质谱、镀膜、半导体洁净制程。
- 防腐版 C/MC 泵腔、旋片、轴承采用耐化学腐蚀材料，配合惰性 PFPE 全氟油，可抽酸碱、卤素、有机溶剂腐蚀气体。
- 安全设计 内置高压安全阀，前级压力过高自动泄压保护泵体；电机 PTC 过热保护，防止干烧损坏。
四、典型应用场景
1. 工业真空
- 真空镀膜、光学 / 装饰膜、ITO 导电膜、等离子清洗
- 真空钎焊、烧结、热处理炉、真空脱泡、树脂灌注
- 罗茨泵机组、分子泵机组标配前级泵（CombiLine 真空机组常用搭配）
2. 半导体 / 微电子
- CVD、PVD、蚀刻设备前级（选用 DUO 65 MC 磁耦合防腐款）
- 晶圆封装、等离子去胶、检漏台
3. 实验室 / 分析仪器
- 扫描电镜 SEM、透射电镜 TEM、质谱仪 MS 前级预抽
- 冻干机、真空烘箱、手套箱、氦检设备
4. 医疗制药
- 真空冻干、等离子灭菌、药物脱气
五、日常维护要点
- 油位检查 运行油温稳定后观察油窗，油位保持 1/3~1/2 区间；油过多喷油、过少高温磨损旋片。
- 换油周期
- 干净干燥气体：3000~5000 小时
- 含水汽 / 溶剂：1000~2000 小时
- 腐蚀气体（MC）：500~1000 小时，油浑浊、变色立即更换
- 滤芯保养 排气油雾滤芯定期更换，防止油雾污染车间；进气加装粉尘过滤器，避免固体颗粒磨损旋片。
- 环境要求 工作环境温度 12~40℃；0℃以下禁止开机，低温油粘度大易烧毁电机。
- 磁耦合款免油封维护 标准版定期更换轴封；M/MC 磁耦合款无轴封，大幅减少泄漏故障。
六、常见故障与排查
- 真空度抽不上去
- 泵油污染乳化 → 换油 + 清洗泵腔
- 管路 / 法兰 KF 密封漏气 → 检漏更换氟橡胶圈
- 气镇阀未关闭、内部旋片磨损 → 拆机更换旋片
- 泵体异响、震动大
- 油位过低、缺油润滑不足
- 联轴器磨损、轴承损坏
- 吸入粉尘杂质卡滞旋片，需整机保养
- 漏油
- 标准版：传动轴油封老化；M/MC 磁耦合基本无漏油，多为放油螺丝、油窗密封渗漏
- 电机过热停机
- 环境通风差、散热翅片积灰
- 长期高背压负载运行；PTC 保护触发停机冷却后再试
七、选型区分速查表
表格
| 型号 | 结构 | 适用工况 | 泵油 |
|---|---|---|---|
| DUO 65 | 轴封普通款 | 干燥洁净空气、通用工业 | P3 矿物油 |
| DUO 65/M | 磁耦合无轴封 | 高洁净、质谱、电镜、检漏 | P3 矿物油 |
| DUO 65 C | 轴封防腐 | 轻微腐蚀、少量溶剂 | PFPE |
| DUO 65 MC | 磁耦合防腐 | 强腐蚀、半导体蚀刻、CVD | PFPE 全氟油 |
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