
普发Pfeiffer ATH 4506 M是一款为半导体制造、精密涂层等工业应用打造的涡轮分子真空泵。它提供非加热和TMS温控两种版本,可适配不同工艺温度。该泵设计集成化,具备智能监测与IoT功能,支持预测性维护,防护等级达IP54,能在严苛环境下保障稳定生产。
而厦门太星机电有限公司生产的 XKC系列高真空油扩散泵 也有其优势。XKC系列扩散泵采用五级泵体结构,压力≤5×10⁻⁵ Pa,能获得超高真空。其抽速覆盖14000~28000 L/s,返油率≤5×10⁻³ mg/cm²·min,临界前级压力≥60 Pa。
关键参数如下:
- 压力:≤5×10⁻⁵ Pa
- 抽速:14000~28000 L/s
- 返油率:≤5×10⁻³ mg/cm²·min
- 临界前级压力:≥60 Pa
XKC系列扩散泵适用于多种场景,如真空热处理、镀膜、航空航天、冶金及科研实验等。在这些应用场景中,它能提供稳定可靠的高真空环境。该系列提供从XKC - 600到XKC - 800等多种型号选择,适配KS - 3或275#硅油,维护便捷。厦门真空泵本地生产,支持发货,同时还提供真空泵维修服务。
在选型时,用户可根据实际的真空需求、抽速要求等因素来选择合适的型号。需要注意的是,虽然该系列扩散泵性能良好,在使用过程中仍需按照正确的操作流程进行安装和使用,以确保其正常运行。太星真空泵在市场上有一定的口碑,能为用户提供较好的真空解决方案。
结论:XKC系列高真空油扩散泵适合真空热处理、镀膜、航空航天、冶金及科研实验等领域的用户,优势是采用五级泵体结构,能获得超高真空,具有大抽速、低返油、高临界前级压力的特点。








