厦 门 太 星 机 电 有 限 公 司

一、3 机型家族的工艺定位

爱德华 IH600 / IH1000 / IH1800 是同一家族 3 款紧密相关的机型，覆盖了从紧凑到大型的应用场景：

二、半导体行业应用

2.1 6 英寸 / 8 英寸晶圆厂（IH1000/IH1800 主力）

2.2 IH1800 的特殊价值（HV 转子）

适用工艺：

· 多晶硅刻蚀（含 Cl₂/BCl₃）

· 铝刻蚀（含 Cl₂/BCl₃）

· 介质刻蚀（含 CF₄/SF₆）

· 高真空工艺（≤10⁻⁵ Pa 区间）

优势：

· HV 转子含镍 ≥10%，耐腐蚀寿命延长

· 真空度提升 1-2 个数量级

· 直接替换 IH1800 标准转子

注意：IH 系列无 IXH 那种 ≥16% 镍的高镍转子，HV 转子（≥10% 镍）是 IH 家族的耐腐蚀升级方案。

2.3 半导体行业关心的 5 个维修点

· HV 转子 vs 标准转子选型：刻蚀工艺含 Cl₂/BCl₃/SF₆ 选 HV 转子

· LTC 轴封寿命：高洁净腔体使用 8000-12000h

· 滤芯件堵塞：晶圆厂 24/7 运行，每 3-6 个月检查

· 波纹管疲劳：导致真空泄漏、轴向窜动

· 摩擦环磨损：导致振动增大、噪声升高

三、平板显示（FPD）行业

3.1 FPD 工艺特点

· 大面积真空腔体（Gen 6 / Gen 8.5）

· 抽气时间长（30-45s 达到工作真空）

· 干泵需要长时间稳定运行

3.2 3 机型在 FPD 行业应用

四、太阳能光伏行业

4.1 光伏工艺特点

· 大批量生产，对设备成本敏感

· 工艺气体相对清洁（无强腐蚀性）

· 标准版转子即可满足需求

4.2 3 机型配件选型建议

五、真空冶金与热处理

5.1 工艺特点

· 中高温（500-1500℃）

· 含金属蒸气、粉尘

· 干泵前级需要过滤

5.2 配件磨损顺序（IH1800）

· 一阶段（3-6 月）：滤芯件饱和

· 第二阶段（6-12 月）：LTC 轴封渗漏

· 第三阶段（12-24 月）：HV 转子端面磨损

· 第四阶段（24-36 月）：波纹管疲劳

六、实验室/小批量生产

6.1 实验室特点

· 工艺多变（不同实验）

· 启动频繁

· 对设备性要求高

6.2 3 机型在实验室应用

· IH600：标准实验室

· IH1000：标准 + 偶尔腐蚀工艺

· IH1800：大型试验台

配件特殊性：

· 标准转子即可

· T 型过滤器用于低洁净

· 标准滤芯件

七、维修实战案例

案例 1：6 英寸晶圆厂 IH1000 异常振动

故障现象：

· 泵体异响，振动值 ≥3.8 mm/s

· 抽气时间从 32s 延长至 58s

· 电机电流波动 ±10%

诊断：

· X3 转子（TX110040019）端面磨损 0.05mm

· 3RD 定子（TX110020008）端面磨损

· 滤芯件饱和

解决方案：

· 更换 X3 转子（TX110040019）— 标准版

· 更换 3RD 定子（TX110020008）

· 更换滤芯件（IH1800 用 3 件）

案例 2：FPD Gen 6 PECVD 真空下降

故障现象：

· 工艺腔体真空从 1×10⁻⁴ Pa 跌至 5×10⁻³ Pa

· 罗茨泵 IH1800 温升 22℃

诊断：

· 4TH 定子（IH1800 用 TX110020010）端面磨损

· 3 级腔体（IH1800 用）配合间隙超差

· LTC 轴封渗漏

解决方案：

· 4TH 定子（IH1800 用 TX110020010）

· 3 级腔体（IH1800 用）

· LTC 轴封（IH1800 用）

案例 3：光伏 PECVD IH1800 转子腐蚀

故障现象：

· 工艺含 HF 浓度波动

· HV 转子（TX110040055）端面 6 个月内出现腐蚀坑

诊断：

· 原厂 HV 转子（含镍 ≥10%）耐 HF 不足

· 必须升级到 IXH 高镍转子（接口不同，需要换泵）

解决方案：

· 升级到 IXH1820H 高镍转子（料号 TX110044569-573，含镍 ≥16%）

· 客户决策：保留 IH1800 标版 6 个月，6 个月后整体升级到 IXH 家族

案例 4：IH1800 大修特殊配件

故障现象：

· IH1800 工艺含 HCl

· LTC 轴封频繁泄漏

诊断：

· LTC 轴封（IH1800 用）标准氟橡胶不耐 HCl

· 必须升级到全氟醚橡胶（FFKM / Kalrez）

解决方案：

· LTC 轴封（IH1800 用，FFKM 材质）

· 配套更换波纹管（IH1800 用 316L 不锈钢）

八、行业应用选型速查

您的行业是？

├─ 半导体（6/8 英寸晶圆厂）

│   ├─ 标准刻蚀 → IH1000 标准转子

│   ├─ Cl₂ 刻蚀 → IH1800 HV 转子

│   ├─ PECVD → IH1800 标准转子 + 滤芯件

│   └─ 溅射 → IH1000 标准转子

├─ FPD（平板显示）

│   └─ IH1800 + HV 转子

├─ 光伏

│   └─ IH600/IH1000 标准版全套

├─ 真空冶金

│   └─ IH1800 + 滤芯件

└─ 实验室/小批量

    └─ IH600 + 标准滤芯

九、关键参数对照

★越多越推荐。

十、FAQ

Q1：刻蚀工艺必须用 HV 转子吗？

A：含 Cl₂/BCl₃/SF₆ 等卤素气体时推荐使用，否则标准转子 3-6 个月就腐蚀穿孔。

Q2：HV 转子料号是多少？

A：TX110040055（IH1800 ）。

Q3：LTC 轴封能用 IXH 系列轴封替代吗？

A：不能。LTC 轴封是 IH1800 件，IXH 系列接口不同。

Q4：IH 系列能用 IXH 高镍转子升级吗？

A：不能。接口不同。需要换泵（IXH 家族）才能升级。

Q5：客户旧 IH1800 泵想升级改造，应优先换哪些件？

A：优先升级 HV 转子、LTC 轴封、滤芯件（性价比），其次考虑整体换泵。

Q6：IH1800 与 IXH1210H 哪个更耐用？

A：IXH1210H 是新一代（接口优化、装配工艺升级）。IH1800 工艺成熟但接口较老。