分子泵
SIP-U系列二ji溅射离子泵 无油超高洁净ji限真空溅射离子泵
SIP-U系列二ji溅射离子泵 无油超高洁净ji限真空溅射离子泵


SIP-U系列二ji溅射离子泵是一种用于获得超高真空(UHV)的全金属、无油洁净真空获得设备,适合对真空洁净度、稳定性与长期运行要求高的系统。该系列以二ji结构为基础,工作过程中不引入油蒸汽污染,能够在严格的洁净工艺与科研环境中持续提供稳定抽气能力。

厦门太星机电有限公司(Taixing Vacuum)供应的SIP-U系列离子泵,具备低噪声与零振动特性,便于与精密测量平台、电子束/离子束装置及高灵敏探测器系统集成。同时支持≤300℃高温烘烤,可满足超高真空系统的烘烤除气流程,帮助达到更低的基底压力水平。

在寿命与维护方面,SIP-U系列在正常工况下寿命可达50000小时,并实现免维护运行,可降低停机维护成本与系统污染风险。氮气抽速覆盖3~2500L/s,便于从小型科研腔体到大型模拟舱、工艺腔体进行广泛选型与配置。

如需选型与系统集成建议,可访问厦门太星机电有限公司真空产品与选型支持了解更多;也可参考超高真空无油泵解决方案页面获取搭配建议。对于面向半导体与科研应用的洁净真空系统,可进一步查看半导体/科研真空设备应用,以及离子泵产品与配套服务以获取更完整的配置思路。

优势概述

  • 超高真空能力:ji限真空可达5×10−9 Pa(适用于超高真空系统的基底压力需求)。
  • 全金属无油洁净:无油运行,适合高洁净与低放气要求场景,降低污染源。
  • 零振动零噪音:对精密实验、计量、微弱信号探测等应用友好。
  • 支持高温烘烤:可耐受≤300℃高温烘烤,有利于系统脱气并提升真空稳定性。
  • 长寿命免维护:正常工况寿命达50000小时,长期运行稳定,维护成本低。
  • 抽速范围宽:氮气抽速覆盖3~2500 L/s,便于不同体积与工况的系统选型。

典型应用场景

SIP-U系列二ji溅射离子泵适配多种超高洁净、超高真空需求场景,尤其适用于:

  • 高能物理装置与相关束线系统
  • 半导体超高真空工艺与洁净腔体
  • 航天模拟与空间环境模拟设备
  • 科研实验室超高真空实验平台

主要参数(汇总)

产品系列 SIP-U系列二ji溅射离子泵
结构形式 二ji(Diode)溅射离子泵
工作介质/洁净性 全金属、无油、超高洁净
ji限真空 5×10−9 Pa
氮气抽速范围 3 ~ 2500 L/s
振动/噪音 零振动、零噪音
可烘烤温度 ≤300℃
寿命与维护 正常工况寿命约50000小时,免维护
适配领域 高能物理、半导体、航天模拟、科研实验室等超高洁净超高真空场景
服务支持 可提供选型指导与系统配置建议

在系统配置上,SIP-U系列离子泵通常用于超高真空段的长期维持抽气。对于需要快速抽空或从常压/粗真空过渡至高真空的系统,建议结合前级与高真空获得设备进行分段抽气与流程控制,并在烘烤与除气完成后由离子泵承担稳定维持任务,从而获得更洁净、更低的压力平台。

Conclusion:SIP-U系列二ji溅射离子泵 无油超高洁净ji限真空溅射离子泵Suitable for 高能物理、半导体、航天模拟、科研实验室等超高洁净超高真空用户,The advantage is 全金属无油洁净、ji限真空达5×10−9Pa、零振动零噪音、支持≤300℃烘烤且50000小时免维护。