案例展示
真空泵大修(维修)包及零配件 / 翻新·二手真空泵销售 — EDWARDS · EBARA · KASHIYAMA · ALCATEL
2026.08.22

一、EDWARDS(爱德华)泵维修包及配件

覆盖全系列维修/大修包:(i)QDP40/80、EH2600、GV160、iH80、iH600/1000、iH1800、GV250/400、QMB(EH)250/500、QMB(EH)1200、QMB(EH)2600/4200、IGX100、GV600、E2M40、E2M80、HCDP160、GR1420001~1420005、RV3/5/8/12、E2M0.7/1/1.5 等。

系列 代表型号 备注
QDP / iQDP QDP40 · QDP80 · iQDP40 · iQDP80 半导体干泵全套大修包
EH / QMB(EH) 罗茨泵 EH2600 · QMB(EH)250/500/1200/2600/4200 罗茨增压泵维修包
iH 系列干泵 iH80 · iH600/1000 · iH1800 干泵及配套增压泵套件
GV / IGX 系列 GV160 · GV250/400 · GV600 · IGX100 油封泵/干泵保养包
E2M / RV / HCDP / GR 系列 E2M40/80 · E2M0.7/1/1.5 · RV3/5/8/12 · HCDP160 · GR1420001~05 旋片泵及配套附件套件

二、ALCATEL(阿尔卡特/Adixen/普发)泵维修包及配件

覆盖型号:ADP81、ADS501、ADS801、RSV601、RSV602、RSV1002、ACP28、A100L、ADP122、ADS602、ADS1202、ADS301、A300、ADP30/31/80/81、A100P 等。

系列 代表型号
ADP 系列 ADP30 · ADP31 · ADP80 · ADP81 · ADP122
ADS + RSV 增压系列 ADS301 · ADS501 · ADS601 · ADS801 · ADS1202 · RSV601/602/1002
ACP / A 系列 ACP28 · A100L · A100P · A300

三、EBARA(荏原)泵维修包及配件

提供荏原干泵轴承座及各类轴承:AAS100WN、A07V、AA70、A25S、A30W、AA10/20/30、AA40W、A150-T、A-30、A70、A10S、40X20、50X20、80X25、ESR20、ESR80、ESR100/200、ESA25D、AAS200/300WN、EST101WN、A300W、AAS20N 等。

系列 代表型号 应用场景
AAS(螺杆+增压组合) AAS100WN · AAS200WN · AAS300WN · AAS20N 适配全氟聚醚介质,含轴承、活塞环、视窗组件
ESA(多级罗茨) ESA25-D · ESA70W/WN · ESA100W · ESA200/300/500/700W 氢能/外延/MOCVD、FPD面板、光伏制程
AA / A(紧凑型) AA10/20/30/70W/100WN · A10S · A25S · A30W · A70 · A150-T · A300W 轴承座及各类轴承

四、KASHIYAMA(坚山)泵维修包及配件

SDE 系列等:SD90V3、SDE120、SDE300、KMB1201、KMB1203、KMB603、MU100 等(兼容 SDE / MU / NeoDry / SDL 全系列)。

系列 代表型号 适用场景
SDE(严苛制程) SDE90X · SDE120TX · SDE303X · SDE603X · SDE1203TX 刻蚀/CVD/ALD 制程,耐强腐蚀气体及工艺粉尘
KMB 增压系列 KMB603 · KMB1201 · KMB1203 增压级/主工艺干泵
MU / NeoDry 系列 MU100 · MU180 · MU300 · MU600 · NeoDry 全系列 洁净气体工况,紧凑型/风冷设计

五、通用真空泵配件及定制轴承

供应全系列真空泵通用零配件,以及反向工程优化的轴承(NSK、NTN 及针对特定泵型定制的轴承):

  • 密封类:各类 O 型圈、唇封、轴封、油封、Dowty 粘结密封、垫片、VITON 防护罩、PTFE 平面密封、橡胶密封圈、Shimrit 密封等;
  • 轴承及结构件:各类轴承、轴承座、内圈、硬化内套、保持架、锁紧螺母、轴套、耐磨端套等;
  • 过滤及其他:静态过滤器、粉尘过滤器、过滤片、视窗、Dowty 粘结密封等。
是否需要 EDWARDS / EBARA / ALCATEL / KASHIYAMA 的维修配件、优化轴承或翻新真空泵? 请联系我们,我们将以竞争力的价格和品质为您提供产品。

六、选择我们的理由

  1. 中国 太星制造:EDWARDS、EBARA、KASHIYAMA、ALCATEL 全系列维修包及配件,由 太星工厂自主生产;
  2. OEM 定制服务:完全按您的订单需求、设计图纸及技术规格加工,支持图纸/参数定制;
  3. 优化轴承:反向工程定制的 NSK、NTN 等轴承,使用寿命更长;
  4. 翻新/二手泵供应:提供 EDWARDS、EBARA、KASHIYAMA、ALCATEL、LEYBOLD 等的翻新泵及二手泵;
  5. 头部客户背书:服务三星、海力士工厂及众多真空泵维修商;
  6. 全球供应能力:产品远销美国、日本、中国、马来西亚、德国、印度、韩国、法国等多个。

常见问题(FAQ)

问:能否按我们提供的设计图纸/技术规格定制生产维修包?

可以。我们支持 OEM 定制,完全按照您的订单需求、设计图纸、技术规格及说明进行生产制造。

问:除了配件,你们是否也销售翻新/二手真空泵?

是的。我们销售 EDWARDS、EBARA、KASHIYAMA、ALCATEL、LEYBOLD 等的翻新泵(检修)和二手泵(成色良好,按现状销售)。

问:支持哪些泵型的维修包?

覆盖 EDWARDS(QDP/iQDP、EH、GV、iH、E2M、RV、HCDP、GR 等)、ALCATEL(ADP/ADS/RSV/ACP/A 系列等)、EBARA(AAS/ESA/AA/A 系列等)、KASHIYAMA(SDE/MU/KMB/NeoDry 系列等)。请提供具体型号获取报价。

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