一、EDWARDS(爱德华)泵维修包及配件
覆盖全系列维修/大修包:(i)QDP40/80、EH2600、GV160、iH80、iH600/1000、iH1800、GV250/400、QMB(EH)250/500、QMB(EH)1200、QMB(EH)2600/4200、IGX100、GV600、E2M40、E2M80、HCDP160、GR1420001~1420005、RV3/5/8/12、E2M0.7/1/1.5 等。
| 系列 | 代表型号 | 备注 |
|---|---|---|
| QDP / iQDP | QDP40 · QDP80 · iQDP40 · iQDP80 | 半导体干泵全套大修包 |
| EH / QMB(EH) 罗茨泵 | EH2600 · QMB(EH)250/500/1200/2600/4200 | 罗茨增压泵维修包 |
| iH 系列干泵 | iH80 · iH600/1000 · iH1800 | 干泵及配套增压泵套件 |
| GV / IGX 系列 | GV160 · GV250/400 · GV600 · IGX100 | 油封泵/干泵保养包 |
| E2M / RV / HCDP / GR 系列 | E2M40/80 · E2M0.7/1/1.5 · RV3/5/8/12 · HCDP160 · GR1420001~05 | 旋片泵及配套附件套件 |
二、ALCATEL(阿尔卡特/Adixen/普发)泵维修包及配件
覆盖型号:ADP81、ADS501、ADS801、RSV601、RSV602、RSV1002、ACP28、A100L、ADP122、ADS602、ADS1202、ADS301、A300、ADP30/31/80/81、A100P 等。
| 系列 | 代表型号 |
|---|---|
| ADP 系列 | ADP30 · ADP31 · ADP80 · ADP81 · ADP122 |
| ADS + RSV 增压系列 | ADS301 · ADS501 · ADS601 · ADS801 · ADS1202 · RSV601/602/1002 |
| ACP / A 系列 | ACP28 · A100L · A100P · A300 |
三、EBARA(荏原)泵维修包及配件
提供荏原干泵轴承座及各类轴承:AAS100WN、A07V、AA70、A25S、A30W、AA10/20/30、AA40W、A150-T、A-30、A70、A10S、40X20、50X20、80X25、ESR20、ESR80、ESR100/200、ESA25D、AAS200/300WN、EST101WN、A300W、AAS20N 等。
| 系列 | 代表型号 | 应用场景 |
|---|---|---|
| AAS(螺杆+增压组合) | AAS100WN · AAS200WN · AAS300WN · AAS20N | 适配全氟聚醚介质,含轴承、活塞环、视窗组件 |
| ESA(多级罗茨) | ESA25-D · ESA70W/WN · ESA100W · ESA200/300/500/700W | 氢能/外延/MOCVD、FPD面板、光伏制程 |
| AA / A(紧凑型) | AA10/20/30/70W/100WN · A10S · A25S · A30W · A70 · A150-T · A300W | 轴承座及各类轴承 |
四、KASHIYAMA(坚山)泵维修包及配件
SDE 系列等:SD90V3、SDE120、SDE300、KMB1201、KMB1203、KMB603、MU100 等(兼容 SDE / MU / NeoDry / SDL 全系列)。
| 系列 | 代表型号 | 适用场景 |
|---|---|---|
| SDE(严苛制程) | SDE90X · SDE120TX · SDE303X · SDE603X · SDE1203TX | 刻蚀/CVD/ALD 制程,耐强腐蚀气体及工艺粉尘 |
| KMB 增压系列 | KMB603 · KMB1201 · KMB1203 | 增压级/主工艺干泵 |
| MU / NeoDry 系列 | MU100 · MU180 · MU300 · MU600 · NeoDry 全系列 | 洁净气体工况,紧凑型/风冷设计 |
五、通用真空泵配件及定制轴承
供应全系列真空泵通用零配件,以及反向工程优化的轴承(NSK、NTN 及针对特定泵型定制的轴承):
- 密封类:各类 O 型圈、唇封、轴封、油封、Dowty 粘结密封、垫片、VITON 防护罩、PTFE 平面密封、橡胶密封圈、Shimrit 密封等;
- 轴承及结构件:各类轴承、轴承座、内圈、硬化内套、保持架、锁紧螺母、轴套、耐磨端套等;
- 过滤及其他:静态过滤器、粉尘过滤器、过滤片、视窗、Dowty 粘结密封等。
六、选择我们的理由
- 中国 太星制造:EDWARDS、EBARA、KASHIYAMA、ALCATEL 全系列维修包及配件,由 太星工厂自主生产;
- OEM 定制服务:完全按您的订单需求、设计图纸及技术规格加工,支持图纸/参数定制;
- 优化轴承:反向工程定制的 NSK、NTN 等轴承,使用寿命更长;
- 翻新/二手泵供应:提供 EDWARDS、EBARA、KASHIYAMA、ALCATEL、LEYBOLD 等的翻新泵及二手泵;
- 头部客户背书:服务三星、海力士工厂及众多真空泵维修商;
- 全球供应能力:产品远销美国、日本、中国、马来西亚、德国、印度、韩国、法国等多个。
常见问题(FAQ)
问:能否按我们提供的设计图纸/技术规格定制生产维修包?
可以。我们支持 OEM 定制,完全按照您的订单需求、设计图纸、技术规格及说明进行生产制造。
问:除了配件,你们是否也销售翻新/二手真空泵?
是的。我们销售 EDWARDS、EBARA、KASHIYAMA、ALCATEL、LEYBOLD 等的翻新泵(检修)和二手泵(成色良好,按现状销售)。
问:支持哪些泵型的维修包?
覆盖 EDWARDS(QDP/iQDP、EH、GV、iH、E2M、RV、HCDP、GR 等)、ALCATEL(ADP/ADS/RSV/ACP/A 系列等)、EBARA(AAS/ESA/AA/A 系列等)、KASHIYAMA(SDE/MU/KMB/NeoDry 系列等)。请提供具体型号获取报价。
👉 请提供您的泵型号及所需配件清单 —— 中国 太星制造,价格竞争力,品质。








